María de la Cruz de Arcaya y Varas, casó con Joaquin del Río Gastetuaga, de este matrimonio nacieron:
1. Gaspar del Río de Arcaya, quien casó, en Valdivia, con Nieves de la Cruz Goyeneche, hija de Pablo de la Cruz Contreras y Antonia de Goyeneche.
2. Vicente José del Río de Arcaya.
3. Manuel del Río de Arcaya, quien contrajo nupcias, en Concepción, con Rufina Marin y Bazan.
4. Micaela del Río de Arcaya, quien casó con Manuel de Vial y Satenlices, hijo de Manuel José de Vial y María Mercedes de Santelices, fue Regidor del Cabildo de Concepción en 1778, Alférez Real y Alcalde en 1782.
5. Maria Josefa del Río de Arcaya.
6. María Juana del Río de Arcaya.
7. Petronila del Río de Arcaya, quien contrajo matrimonio con Lucas de Arriaran.